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SiC涂层
优点:

薄膜致密、晶体纯度高、阻碳性能好、高温抗氧化


性能指标
性能指标单位幄肯牌号
VU-C-SIC
结构/β(立方)3C多型体
体积密度g/cm33.2
化学计量比/1:1 SiC
莫氏硬度GPa9.2-9.5
断裂韧性MPa m1/23
热膨胀系数100–600 °C
 (212–1112 °F)
10-6 K-14.2
弹性模量GPa375
典型膜厚μm30-100
表面粗糙度μm1.6



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